LDSS-60系列掃描電子顯微鏡簡(jiǎn)介
LDSS-60 SEM Introduction
一、產(chǎn)品命名規(guī)則：
LDSS-60系列產(chǎn)品作為基礎(chǔ)款臺(tái)式掃描電鏡，能滿足大部分用戶的基本實(shí)驗(yàn)需求，配置SE二次電子探測(cè)器與BSE背散射電子探測(cè)器，載物平臺(tái)可配置三軸（X,Y,R）手動(dòng)平臺(tái)，也可升級(jí)為五軸（X,Y,R,Z,T）自動(dòng)平臺(tái)，全系列產(chǎn)品均可配置EDS能譜分析儀，產(chǎn)品包括如下配置：
| Item | Model | With Detector Option | With Stage Option |
| Mini-SEM | LDSS-60 | LDSS-60S | LDSS-60S-MS |
| LDSS-60D | LDSS-60D-MS | ||
| LDSS-60D-ST |
型號(hào)命名規(guī)則如下：
二、簡(jiǎn)單說(shuō)明：(Description)
（1）最大放大倍率6萬(wàn)倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通過(guò)選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）高真空配置（High Vacuum System）
（6）Tilt（0~45）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技術(shù)參數(shù)：(Product specifications)
| 分辨率（Resolution） | 20nm (30kV, SE Image) |
| 25nm (30kV, BSE Image) | |
| 放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
| 加速電壓（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (多檔可選) |
| 圖像檢測(cè) | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
| （Signal Detection） | 背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
| * Multi Detector (SEI+BSEI) | |
| 觀察模式 Observation mode | 標(biāo)準(zhǔn)模式 |
| 電子槍系統(tǒng)（Electron Gun） | |
| 燈絲類型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system） | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） |
| 電子槍校正 | 手動(dòng)方式（Manual mode） |
| （Electron gun alignment） | |
| 透鏡構(gòu)成（Lens system） | |
| 聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 |
| (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) | |
| 物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
| 探測(cè)器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
| 載物臺(tái)系統(tǒng)( Stage System) | Auto or Mauanl |
| 載物臺(tái)移動(dòng)（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
| Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
| 樣品最大尺寸 | 高度40mm時(shí)最大直徑70mm，70mm in diameter, 40mm in height |
| （Max Sample size） | |
| 圖像掃描 | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
| （Image Scanning system） | 低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
| 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 | |
| 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 | |
| 圖片模式3(Photo Mode 3): 5120x3840 | |
| 自動(dòng)功能 | 自動(dòng)啟動(dòng)(Auto start)，自動(dòng)聚焦(Auto focus)，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast) |
| （Automatic Function） | |
| 圖像存儲(chǔ)格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
| 數(shù)據(jù)顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測(cè)器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， |
| Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 | |
| 真空系統(tǒng)（Vacuum system） | 高真空模式 |
| （旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min | |
| （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec | |
| 抽真空時(shí)間(pump down time)：3分鐘以內(nèi) | |
| 操控系統(tǒng)(Control unit system) | 鼠標(biāo)和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
| PC：臺(tái)式電腦（Desk Top） | |
| 軟件（Software function） | 圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能(Image file open, edit, Save function) |
| 長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能(Length, area, angle measuring) | |
| 設(shè)置數(shù)值初始化(parameter initialization)，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模式等 | |
| 體積（ Volume） | 設(shè)備主機(jī)（Main Unit）-460(W)×600(D)× 600(H)mm……1set |
| 外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set | |
| 重量 （Weight） | 99kg |
| 設(shè)備環(huán)境 | 溫度(Temperature)：15℃~30℃ |
| （Equipment environment） | 濕度(Humidity)：70% or less |
| 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz | |
四、樣品檢測(cè)結(jié)果
我們使用實(shí)驗(yàn)室廢棄的一顆不良品螺絲作為樣品進(jìn)行了實(shí)際測(cè)試,圖片如下:
螺絲，放大47倍， 30 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺紋牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺紋牙頂部分，放大500倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺紋牙頂部分放大，1000倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
其它測(cè)試圖片：
陶瓷表面，放大5千倍，30 kV，SE探測(cè)器 電池正極材料，1萬(wàn)倍， 5 kV，SE探測(cè)器
浮游植物，放大8千倍，5 kV，SE探測(cè)器 珍珠粉，放大1千倍，5 kV，SE探測(cè)器
五、附件包（Accessories package）：
| 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | 5 pcs/box |
| Pre Centered tungsten filament | |
| 載物臺(tái)（Sample Stage） | 15mm dia. (10 pcs) |
| 25mm dia. (10 pcs) | |
| 15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
| 15mm 90° Tilt (5pcs) | |
| 高度基準(zhǔn)模塊(Height standard master) | 1ea |
| 6角扳手(allen wrench) | 1set |
| 掃描電鏡軟件修復(fù)用CD | 1ea |
| (SEM Software CD) | |
| 碳導(dǎo)電膠帶(Carbon conductive tape) | 1roll |
| 剪刀(scissors) | 1ea |
| 洗耳球(aurilave) | 1ea |
| 鑷子(tweezers) | 1ea |
| 工具箱(Tools Box) | 1ea |